爐體尺寸

φ1100*H850

有效空間

φ550*H500

工件最大直徑*數(shù)量

φ150*8個

濺射陰極

12ARC

工作電壓/頻率

380V/50Hz

實際功率

50KW

應(yīng)用技術(shù)

HCD+ARC

靶材數(shù)量

12個

極限壓力

5.0*10^-4Pa

漏率

<10^-3Pa.L/s

抽氣時間

大氣到4*10^-3 <20分鐘

弧源數(shù)量

12個

標(biāo)準(zhǔn)涂層

TiN、CrN、AlTiN等

其它復(fù)合涂層

TiSiN、TiAlCrN、TiAlCN等

工件轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu)

下轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu)

真空室結(jié)構(gòu)

立式單開門

電源類型

弧電源、脈沖偏壓電源、電子槍電源

真空系統(tǒng)

分子泵、羅茨泵、旋片泵

生產(chǎn)周期

3-5小時/爐

外圍尺寸

L4000*W3200*H2200MM

產(chǎn)量/爐

銑刀φ10*70  680  

刀粒φ18*6  5000  

滾刀φ80*80  48   

模具500KG

配套條件

循環(huán)水壓力：2-3KG/CM³

水量：10T/H  

壓縮空氣：4-6 KG/CM³

控制方式

手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC

自己開發(fā)的鍍膜專用軟件

工作氣體

Ar、N₂、O₂、C₂H₂等

備注

真空室尺寸，外圍尺寸，設(shè)備外觀等可按客戶產(chǎn)品或及特殊工藝要求訂做

涂層

顏色

納米硬度（HV0.05）

摩擦系數(shù)

涂層厚度 um

最高使用溫度℃

結(jié)構(gòu)

主要特點

應(yīng)用

TiN

金黃色

2400

0.40

1-4

500

單層膜

通用的硬質(zhì)涂層

主要用于車削、銑削、鉆削及齒

輪類 刀具的耐用涂層和成型、

注塑模 的防粘連，提高潤滑性

及耐磨保護 涂層。

CrN

銀灰色

2000

0.40

1-4

700

單層膜

通用的耐腐蝕膜層，低粘附傾向

具有良好的抗粘結(jié)性，抗腐性，耐磨性。幾乎適合加工所有材

料，包括高硅鋁、不銹鋼、高

鎳合 金、鈦和復(fù)合材料、注

塑模具、零 件、橡膠模具、硅

膠模具、半導(dǎo) 體封裝模具等。

TiCN

藍灰色

3000

0.20

1-4

400

梯度復(fù)合膜

低摩擦系數(shù)，高硬度

在TiN基礎(chǔ)上，提高了涂層的硬度、 并降低摩擦系數(shù)，主要用于高速 鋼刀具、沖壓模具、成型模具。

TiAlN

紫紅色

3500

0.40

1-4

850

單層復(fù)合膜

通用的硬質(zhì)抗氧化涂層

紅硬性良好，表面光潔度高，可用 于高速加工。適合模具鋼、HSS、 硬質(zhì)合金工具（加工材

料硬度低于 HRC45）、薄壁件

沖壓模具。

AlTiN

紫黑色

3800

0.45

1-4

900

多層復(fù)合膜

超高硬度，抗氧化

具有極高的微硬度，熱硬度。適合 于具有高熱應(yīng)力的工具涂層，并 具備良好的耐熱沖擊性，有

快 速間斷切削應(yīng)用的優(yōu)先選擇。廣 泛用于硬質(zhì)合金工具（加工

材料 硬度低于HRC45）、壓鑄模具。

TiAlCrN

灰色

3300

0.70

1-3

800

多層復(fù)合膜

高硬度，抗氧化，抗沖擊

中等切削速度下的硬質(zhì)材料機械加工

TiAlCN

枚紅色

3500

0.20

1-4

800

梯度復(fù)合膜

高硬度，抗氧化

AlCrN

灰黑色/深灰色

3200

0.35

1-4

1100

單層膜

非常高的抗氧化溫度和紅硬性

高速下的硬切削，中到高硬度材 料的銑削、滾銑，由于幾何 體產(chǎn)生高沖擊負載的工具上的應(yīng)用